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Alcatel ATH1600MT阿尔卡特分子泵进气法兰口DN200ISO-K/DN200CF，出气法兰口DN40 ISO-KF，抽速可达到1400 L/s，极限压力4.5X.10-6 mTorr/6X10-9 mbar,转速为15000-39000rpm，阿迪克森ATH1600MT磁悬浮分子泵对应的控制器为：Alcatel ACT 1600M
