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爱发科ULVAC干法去胶机Ashing System

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产品价格：￥0（人民币）

规格：应用领域：IC，mems，LED，igb

发货地：上海

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商品详情

应用领域：IC，MEMS，LED，IGBT，SiC　Power　Device

设备特点：

一体化设计，可对应各种晶圆尺寸＆不同尺寸晶圆混合搬送

对应工艺范围广：从下一代有机膜工艺到氧化膜/SiN的刻蚀

利用微波电源，低温工艺，实现无损伤工艺

维护保养周期长：6个月（实际值）

易于维护和工艺腔清洗时间短（30分钟）

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