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测试标准:
系统名称 |
PAr |
GN2 |
PO2 |
PN2 |
保压标准 |
24h≦1% |
24h≦1% |
24h≦1% |
24h≦1% |
氦检标准 |
≦1*10-9 atm. cc/sec |
≦1*10-6atm. cc/sec |
≦1*10-9 atm. cc/sec |
≦1*10-9 atm. cc/sec |
水分 |
H2O≦10ppb |
H2O≦10ppb |
H2O≦10ppb |
H2O≦10ppb |
氧分 |
O2≦10ppb |
O2≦10ppb |
/ |
O2≦10ppb |
颗粒 |
≦1pcs/scf≦0.1μ m( |
≦1pcs/scf≦0.1μ m( |
≦1pcs/scf≦0.1μ m( |
≦1pcs/scf≦0.1μ m( |