江苏气体设备及管路五项测试
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      测试标准:

      系统名称

      PAr

      GN2

      PO2

      PN2

      保压标准

      24h1%

      24h1%

      24h1%

      24h1%

      氦检标准

      1*10-9 atm. cc/sec

      1*10-6atm. cc/sec

      1*10-9 atm. cc/sec

      1*10-9 atm. cc/sec

      水分

      H2O10ppb

      H2O10ppb

      H2O10ppb

      H2O10ppb

      氧分

      O210ppb

      O210ppb

      /

      O210ppb

      颗粒

      1pcs/scf0.1μ m(

      1pcs/scf0.1μ m(

      1pcs/scf0.1μ m(

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