X轴
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测量范围
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50mm（CV-1000）或100mm（）CV-2000
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分辨率
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0.2μm
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测量方法
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反射型光栅尺
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驱动速度
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0.2mm/s\\\\\\\\1mm/a和手动
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测量速度
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0.02-5mm/s
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测量方向
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/向后
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直线度
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3.5μm /50mm
1.5μm/mm（当X轴在水平方向上
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指示精度
（20℃）
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±（3.5+2L/100）μm
L为驱动长度（mm）
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倾斜范围
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±45°（CV-2000）
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Z1轴
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测量范围
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25mm（CV-100）或40mm（CV-2000）
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分辨率
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0.4μm（CV-1000系列）
0.5μm（CV-2000系列）
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测量方法
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弧形编码器
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指示精度
（20℃）
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±（3.5+14H/25）μm）
H为水平位置上的测量高度（mm）
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探针上下运作
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弧形运动
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探针方向
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向下
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测力
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10-30mN
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跟踪角度
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向上
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77°
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向下
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87°
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探针针尖
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半径
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25μm
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材料
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硬质合金针尖
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基座尺寸（WxH）
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750x600mm（CV-2000）
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基座材料
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花岗岩（CV-2000）
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重量
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主机
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5kg（CV-10000N2）、115.8kg（CV-2000M4）、124kg（CV-2000S4）
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控制装置
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14kg
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遥控箱
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0.9kg
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电源
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100-240VAC±10% 50/60Hz
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能耗
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150W仅限主机
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